Rotarex RX04 / RX08
Phynox diaphragm / 超高纯气体隔膜阀
Phynox R30003 進口精密帶材在半導體超高純隔膜閥膜片中的應用
聚焦半導體 UHP 隔膜閥對高性能材料的要求，提供 Phynox R30003 進口精密帶材與表面加工技術支援。
01
UHP 隔膜閥的膜片要求
膜片需兼顧耐蝕性、彈性恢復、循環疲勞、接觸表面與潔淨度。
02
Phynox R30003 的適配性
Phynox（UNS R30003）為鈷－鉻－鎳－鉬高彈性合金。退火態抗拉強度約 900 MPa；精密冷軋可提升至 1,900 MPa 以上，冷加工後以約 520°C、3 小時時效處理進一步強化，最高抗拉強度可達約 2,500 MPa。材料具優異耐腐蝕性、抗氫脆能力、彈性回復與抗疲勞性能，適用於半導體超高純隔膜閥膜片。
表面狀態對比：左側為一般表面，右側為鏡面拋光表面
表面狀態對比：左側為一般表面，右側為鏡面拋光表面
03
國際製造商應用借鑒
國際高純閥門公開資料展示 Phynox 和 UNS R30003 鈷鉻鎳合金於精密金屬膜片的應用。
AP Tech
Co-Cr-Ni diaphragm alloy; UNS R30003 material identification confirmed for the relevant application / 高纯阀门膜片技术参考
04優弗萊克斯：半導體超高純隔膜閥膜片專用 R30003 進口精密帶材
優弗萊克斯：半導體超高純隔膜閥膜片專用 R30003 進口精密帶材
成熟機械性能方案與鏡面級表面
我們已建立成熟的 R30003 膜片用精密帶材機械性能標準，並依此提供穩定供貨，協助客戶快速完成產品導入。
Thickness / 厚度0.030–1.000 mm
Width / 宽度1.5–200 mm
主要技術能力
常規供應 Ra ≤ 0.07 μm 表面品質；可供應連續鏡面拋光的膜片級精密帶材。 成熟標準涵蓋抗拉強度、硬度、伸長率與交貨狀態。請聯繫我們取得推薦機械性能與供貨方案。
供應能力
涵蓋材料狀態、尺寸公差、邊緣品質與表面控制；不同厚度與寬度組合依供貨技術規格確認。